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菲索型激光干涉儀 ZYGO Verifire

具有專利QPSI測(cè)量模式，能夠在振動(dòng)環(huán)境中檢測(cè)，真正的共光路面形計(jì)量干涉儀。

特點(diǎn)：

1、斐索型系統(tǒng)保證精密測(cè)量

2、創(chuàng)XIN算法提供在振動(dòng)環(huán)境中也能進(jìn)行可靠的測(cè)量

3、圖像界面，易于生產(chǎn)線上操作

4、工業(yè)級(jí)Metropro③軟件

規(guī)格參數(shù)：

測(cè)量功能：	精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
測(cè)量技術(shù)：	QPSI快速機(jī)械相移模式和傳統(tǒng)的機(jī)械相移干涉模式（PSI）
校準(zhǔn)系統(tǒng)：	快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
測(cè)量光束直徑：	4″（102mm）或6″（152mm）
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV：	4″：±3°；6″：±2°；
光學(xué)中心線：	4.25″（108mm）
激光光源：	大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，IIIa級(jí)
波長(zhǎng)：	633 nm
頻率穩(wěn)定度：	< 0.0001 nm
相干長(zhǎng)度：	＞100m
成像分辨率：	1024 x 1024像素
幀速：	100Hz（PSI）
數(shù)據(jù)采集時(shí)間：	130-300ms
數(shù)據(jù)模式：	8位
放大：	電控1-5X
偏振：	接近圓偏振（1.2：1或者更好）
光曈調(diào)焦范圍：	4″：±2.5m；6″：±5.5m；
計(jì)算機(jī)和軟件：	高性能DELL PC，Windows7，64位， ZYGO專利軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2）
安裝構(gòu)造：	水平臥式或垂直立式
附件	詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463
尺寸(長(zhǎng)x寬x高)	4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)； 6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
重量	4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg）
電源	100-240VAC，50/60Hz

工作環(huán)境

溫度：	15°C - 30°C (59°F - 86°F)
溫度變化率：	＜1.0°C/15min
濕度：	相對(duì)濕度5% - 95% , 無(wú)凝結(jié)
隔振：	QPSI模式可以在振幅不超過(guò)150nm的震動(dòng)環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量；機(jī)械移相測(cè)量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統(tǒng)。

性能參數(shù)

兩種模式下測(cè)試有振動(dòng)的腔